[M 투데이 이상원기자] 삼성전자 이재용 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 방문, 피터 베닝크(Peter Wennink) CEO와 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등 경영진들과 만나 협력 강화 방안을 논의했다.

삼성은 이재용 부회장과 ASML 경영진이 미래 반도체 기술 트렌드외 반도체시장 전망, 차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수장비인 EUV 노광 장비의 원활한 수급 방안, 그리고 양 사의 중장기 사업 방향 등에 대해 폭넓게 논의했다고 밝혔다.

이 부회장이 ASML 본사를 찾은 건 지난 2020년 10월 이후 20개월 만으로, 이번 방문에는 경계현 삼성전자 DS부문장이 함께했다.

이번 이부회장의 ASML 방문의 궁극적 목적은 반도체 대량 생산의 필수장비인 극자외선(EUV) 노광장비 확보에 있는 것으로 알려졌다.

이 장비는 대당 가격이 2,000억 원에 달하는데 연간 생산 대수가 40-50대 수준에 불과, 글로벌 반도체기업들이 이 장비 확보에 사활을 걸고 있다.

특히, 삼성으로서는 파운드리(반도체 위탁생산) 시장에서 갈수록 밀리고 있는 대만 TSMC를 따라잡기 위해서는 이 장비의 대량 확보가 필수적이다.

이 때문에 이 부회장이 직접 문제 해결에 나섰다. 이 부회장은 2020년에도 ASML 본사를 찾아 경영진과 회동, 노광 장비를 확보한 바 있다.

업계에 따르면 ASML의 지난 2021년 EUV 노광장치 생산대수는 48대로, 그 중 TSMC가 22대, 삼성전자가 15대를, 나머지 11대는 SK 하이닉스와 인텔, Micron Technology가 나눠 구입한 것으로 알려졌다.

올해 ASML의 EUV 생산 계획은 55대로 알려져 있다. 올 초피터 베닝크 ASML CEO는 2022년에는 55대의 EUV 노광장치를 출하하는 것을 목표로 하고 있다고 밝힌 바 있다.

때문에 삼성이 TSMC와의 격차를 어느 정도 좁히려면 올해 적어도 30대의 EUV 노광장치는 확보해야 할 것으로 보여 진다.

한편, 이부회장은 다음날인 15일(현지 시간)에는 벨기에 루벤(Leuven)에 위치한 유럽 최대 규모의 종합반도체 연구소 imec을 방문, 루크 반 덴 호브(Luc Van den hove) CEO와 만나 반도체 분야 최신 기술, 연구개발 방향 등을 논의했다.